IEF 17932

Octrooi Nikon niet inventief, dus nietig, zodat ASML geen inbreuk maakt

Rechtbank Den Haag 22 augustus 2018, IEF 17932; ECLI:NL:RBDHA:2018:10046 (Nikon tegen ASML) Octrooirecht. Nikon is houdster van Europees octrooi EP595. Nikon vordert dat dat ASML iedere betrokkenheid bij inbreuk op het octrooi staakt. Het octrooi is niet inventief: Op de prioriteitsdatum van het octrooi behoorde het eveneens onbestreden tot de algemene vakkennis dat in de markt reeds duidelijk een voorkeur bestond voor immersielithografie van het local fill principe. EP 595 is volgens de ingeroepen conclusies nietig, zodat daarop geen inbreuk kan worden gemaakt. De inbreukvordering van Nikon wordt afgewezen. ASML vordert dat de rechtbank onbevoegd is voor beoordeling van inbreukmakende handelingen buiten Nederland. De rechtbank is zonder aanhouding bevoegd om te beslissen op de gevorderde provisionele voorzieningen, waarbij zij de geldigheid van zowel het Nederlandse als de buitenlandse delen van EP 595 bij een voorlopig oordeel kan betrekken. ASML wordt veroordeeld in de proceskosten: in bevoegdheidsincident: €543,00; provisionele voorziening: nihil; in de hoofdzaak: €300 en in reconventie: €300.

4.5. De slotsom is dat de rechtbank bevoegd is kennis te nemen van alle vorderingen in conventie. Daarbij dient de beoordeling in de hoofdzaak aangehouden te worden voor zover daarbij de geldigheid van de buitenlandse delen van EP 595 aan de orde komt, totdat daarop is beslist door de bevoegde buitenlandse rechters, nu Nikon om die aanhouding heeft verzocht. De rechtbank is zonder aanhouding bevoegd om te beslissen op de gevorderde provisionele voorzieningen, waarbij zij de geldigheid van zowel het Nederlandse als de buitenlandse delen van EP 595 bij een voorlopig oordeel kan betrekken. De incidentele vordering tot onbevoegd-verklaring zal derhalve worden afgewezen.
4.21. Naar het oordeel van de rechtbank heeft ASML terecht aangevoerd dat EP 595 niet inventief is in het licht van Nikons eigen octrooiaanvrage US 165 gecombineerd met algemene vakkennis, waartoe als volgt wordt overwogen. Hierbij kan met Nikon worden uitgegaan van een gemiddelde vakman als een team dat zich bezighoudt met de ontwikkeling en productie van lithografiemachines (zie haar pleitnota nr. 2.10). Voor zover Nikon overigens daarbij pleit voor een beperking tot een vakman voor immersielithografiemachines gaat de rechtbank daaraan voorbij omdat dit, zoals hierna zal blijken, ten onrechte de kennis van droge lithografiemachines zou uitsluiten terwijl, naar ASML onbetwist heeft aangevoerd, de op dat moment belangrijkste bedrijven op de lithografiemarkt (ASML, Canon en Nikon) hun (eerste) immersiemachines hebben gebouwd uitgaande van een droge machine. Hierbij komt dat – zoals in r.o. 4.12 reeds is vermeld – er destijds nog geen werkbare immersielithografiemachine beschikbaar was zodat daarvoor ook geen specifieke vakmensen zullen zijn geweest.
4.44.
ASML heeft gemotiveerd gesteld dat de volgconclusies van EP 595 aan conclusie 1 niets inventiefs verlenen. Zij heeft er op gewezen dat de in volgconclusies 2, 3, 5 t/m 8 en 16 t/m 20 neergelegde aanvullende kenmerken in wezen zien op het voorkomen van warmteoverdracht tussen immersiewater en wafer. Zij stelt terecht dat die afstemming tot de algemene vakkennis behoort. Enerzijds is algemeen bekend om verandering van de brekingsindex van het immersiewater te voorkomen, welke zou ontstaan als de wafer een andere temperatuur zou hebben en het immersiewater daarmee in contact komt. Anderzijds is evenzo algemeen bekend om de temperatuur van de wafer te controleren teneinde expansie of krimp te voorkomen die zorgt voor overlay problemen. Die algemene vakkennis als zodanig heeft Nikon niet, althans onvoldoende betwist (zie r.o. 4.34 en 4.27). Voor zover Nikon aanvoert dat het droog meten van markering op de wafer niet bekend was uit de stand van de techniek, heeft zij dit een en ander onvoldoende nader gemotiveerd in het licht van hetgeen deskundige Ronse namens ASML daarover heeft gezegd in zijn verklaring (paragrafen 23 en 24 GP65B) en waarop ASML op het pleidooi heeft gewezen. Voor zover Nikon ook in dit kader stelt dat een gemiddelde vakman zou denken dat temperatuurcontrole door het immersiewater voldoende zou zijn, is dit in het voorgaande reeds verworpen (zie Ad (iii) hiervoor). De temperatuursensor van conclusie 6 is terug te vinden in US 165. Voor wat betreft conclusies 7, 8, 12 en 13 heeft Nikon geen gemotiveerd verweer gevoerd tegen de stelling van ASML dat deze conclusies geen inventieve maatregelen bevatten. Ten aanzien van werkwijzeconclusies 15-20 heeft Nikon tegenover de stellingen van ASML dezelfde argumenten als hiervoor reeds verworpen gevoerd, zodat ook deze als niet inventief zijn te beschouwen. Op het pleidooi heeft Nikon aangevoerd dat de geldigheid van conclusie 21 niet is betwist. ASML heeft dit op het pleidooi alsnog gedaan, waartegen Nikon bezwaar heeft gemaakt. Desgevraagd heeft Nikon evenwel niet aangegeven op welke wijze zij in haar verdediging is geschaad. Dit valt te minder in te zien nu deze vervaardigingsconclusie slechts terugverwijst naar gebruik van de belichtingsinrichting van conclusies 1-13 of de belichtingswerkwijze van conclusies 15-20. De conclusie voegt derhalve ten aanzien van de inventiviteitsvraag niets toe aan die conclusies. Conclusie 21 dient derhalve het lot van die conclusies te delen en worden vernietigd.